中国科学院过程工程研究所

²  多晶硅行业经历了巨大的市场投资和技术上的不断更新完善，成为国内新能源领域的新兴产业。针对目前仍存在的三氯氢硅精馏提纯精度高、能耗高的特点，项目组联合天津大学、福州大学在多晶硅精馏领域通过不断的技术创新和技术推广，采用多级精密填料技术、耦合分离技术和吸附精馏等关键技术实现三氯氢硅的分离，在多晶硅精馏提纯与节能领域逐渐形成了具有自主知识产权的集成技术。

n  技术方案

²  改良西门子法生产多晶硅是目前最成熟的工艺，90%的多晶硅企业均采用此技术，该技术利用氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD 反应生产高纯多晶硅。其中影响产品品质的重要因素就是三氯氢硅的纯度，其来源于原料氯硅烷，以金属及非金属杂质的化合物、有机硅烷化合物和聚硅烷及复杂化合物、络合物等形式存在，对这些杂质基本上采用精馏法进行分离。

n  技术优势

²  按照5000 吨/年多晶硅生产规模，该技术蒸汽能耗不高于32吨/吨多晶硅，远低于传统工艺80吨/吨多晶硅的能耗水平；

²  提纯后三氯氢硅的B/P 杂质含量均小于1ppb，质量大部分均为电子级三级的技术指标，其技术水平达到国际领先。

²  系统物料利用率大于99%，单位处理能耗低于传统工艺的30%。

商业报告

n  应用场景

²  该技术属于太阳能光伏领域，主要用于多晶硅的提纯与制备。

n  商业模式

²  授权使用；

²  技术转让；

²  项目合作。

n  推广意义

²  随着上世纪90 年代光伏发电在欧美推广以来，全球每年对太阳能电池的需求以30%的速度递增，导致太阳能领域对多晶硅的需求量直线上升，给多晶硅行业带来了前所未有的发展契机；

²  技术路线成熟，已申请国家专利5 项，与国内60%以上多晶硅企业建立合作关系，形成了1500 吨/年-12000 吨/年多晶硅生产规模的技术推广，得到了多晶硅行业联盟和企业市场的高度认可；

²  该技术的推广与应用，有助于生产企业降低能耗，减少污染，实现生产过程绿色环保。